通过FS209E标准划分，每立方英尺里面允许含有最多的0.5微米尘埃粒子的数量就是洁净室的等级，比如每立方英尺允许含有最多1000个0.5微米的例子，那么这个洁净室就是千级；如果是10000个粒子就是万级，总共是从一级，十级，百级，千级，万级到百万级。

       ISO14644标准划分相同，只是等级表示不一样，从1级到9级，这里的9级对应的是FS209E的百万级。ISO14644比FS209E多出两个级别，就是1级和2级，这两个主要是针对电子厂或者航天方面的洁净室的。